MEMS惯性传感器是什么_mems传感器应用领域

　　MEMS惯性传感器主要是指MEMS加速度计和MEMS陀螺仪。MEMS惯性传感器在1990年代开始规模应用在汽车工业和国防工业，20世纪初开始应用于手机MEMS陀螺仪和MEMS加速度计，均由一颗MEMS芯片和一颗ASIC芯片组成，二颗芯片封装一起构成了陀螺仪或加速度计，如图2-2-2所示。等消费电子领域，物联网有望引领下一波增长浪潮(如图2-1-1所示)。

　　集成若干轴加速度计和陀螺仪为一体，可构成IMU(Inertial Measurement Unit惯性测量单元)，IMU可用于测量物体三轴姿态角(或角速率)以及加速度。ST的九轴MEMS IMU传感器(三轴陀螺仪+三轴加速度计)、InvenSense的九轴IMU传感器(三轴陀螺仪+三轴加速度计)，如图2-2-3所示。

　　低精度的MEMS惯性传感器的应用领域以消费电子为代表，如手机、游戏机、无线鼠标、数码相机、硬盘保护、计步器、防盗系统、GSP导航、老人健康检测、玩具、玩具级无人机、智能运动器械等产品中，基本功能是测量物体的直线加速度、倾斜角度、转动速度、振动频率和力度等，这些基本的物理信号通过应用程序的开发，可以衍生出各种各样的功能。主要供应商为ST、Bosch、Invensense(TDK)、Mcube、苏州明皓、Kionix(Rohm)等。

　　中精度的MEMS惯性传感器的应用领域以汽车为代表，主要功能为：安全气囊触发、电子稳定系统、防侧翻、轮胎防盗、TPMS(胎压监控)、GPS辅助导航、自动驾驶等。根据功能不同规格不同，如安全气囊触发的加速度计量程在±70g～±100g，电子稳定系统、防侧翻等的加速度计量程～±2g，零偏温漂在±0.1～±1mg/℃，电子稳定系统的陀螺仪的量程在±200°/s～±500°/s，零偏稳定性(常温Allen)在2～15°/h，另外还有精密农业、工业自动化、大型医疗设备、机器人、工厂机械、工业级无人机、仪器仪表、轨道交通等应用领域。主要供应商为ADI、Bosch、松下、精工、Murata、Silicon sensing、Infineon、MEMSIC等。

　　高精度的MEMS惯性传感器的应用以航天和国防领域为代表，包括导弹导引头、通信天线指向控制、智能炮弹、光学瞄准稳定系统、水下物体导航、飞机姿态监控、战场机器人等，其性能指标要求全工作温度区域得到保证，其中小量程加速度计的量程在10～100g，零偏稳定性<10mg;大部分陀螺仪的量程在100°/s～500°/s，零偏稳定性(常温Allen)在0.2°/h～1°/h。主要供应商为Honeywell、BEI、Sensonor、Colibrys、Endevco、Systron Donner、Sagem等。