MEMS传感器将发展方向如何?有何优势?

　　物联网技术的发展推动了mems技术的广泛应用，同时，mems技术也为物联网的发展提供了良好的解决方案。今天咱们就分析下mems传感器的发展前景及优势。

　　MEMS传感器有何特点?

　　MEMS是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。

　　用MEMS工艺制造的传感器具有微型化、集成化、成本低、效能高、可大批量生产等特点。同时，MEMS传感器不仅能够感知被测参数，将其转换成方便度量的信号;而且能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断，因此形象地被称为智能传感器。

　　1980年，第一个MEMS传感器推出，重量、湿度、加速度计、压力、麦克风等MEMS传感器不断出现，其种类繁多，一般分为MEMS物理传感器、化学传感器、生物传感器三大类。(相关阅读可以查看YXC扬兴官网《MEMS应用领域》)

　　MEMS传感器有啥优势?

　　因为传统的基于机电工艺制成的传感器和执行器在体积、价格和产能上不能适应工业、消费电子等领域的需求，MEMS开始发展起来。

　　与传统的传感器相比，MEMS传感器在尺寸、性能、智能化等方面都具有明显的优势。例如，在陀螺仪及麦克风方面，MEMS技术的应用为之技术升级带来较大跨越。

　　比较1：陀螺仪。传统的光纤陀螺仪，体积虽然越来越小，但对于放入一些电子产品而言是不可能完成的。而且为了保证性能，这样一个陀螺仪的产量之低和价格之高也是可想而知。

　　而我们现在智能手机上采用的陀螺仪则是MEMS陀螺仪，例如上图。其体积小、功耗低、易于数字化和智能化，特别是成本低，易于批量生产，非常适合手机、汽车牵引控制系统、医疗器材这些需要大规模生产的设备。

　　比较2：麦克风。传统麦克风的七八种机械配件可全部集成在一块很小的MEMS传感器芯片上。由上图可见，MEMS麦克风置于手机中，体积非常小，重量也比较轻。

　　由于是芯片制造，一致性好、功耗低，更易于批量生产。MEMS传感器的出现满足特定产品小体积、高性能的要求。

　　MEMS全产业链：

　　MEMS整个产业链比较复杂，涉及的厂商众多。其产业链的上游负责MEMS器件设计、材料和生产设备供应，中游生产制造出MEMS器件，下游使用MEMS器件来制造终端电子产品。

　　我国的设计、制造、封装测试厂商也早已开始积极布局，已形成完整的MEMS产业链。其设计产业主要分布在环渤海和长三角地区。制造线主要集中在北京、上海、无锡、杭州、苏州、淄博等城市。

　　MEMS传感器发展趋势

　　此前，智能手机、可穿戴设备等智能硬件快速更新，功能越多而体积越小。这就对器件的尺寸要求极高，推动MEMS传感器向集成化、小型化、智能化、低功耗方向发展。随着应用的不断深入，MEMS的发展也有了新的趋势。

　　近日，意法半导体传感产品部总监Simone Ferri看好汽车MEMS传感器将在半导体市场成为下一波浪潮，他表示，预估今年MEMS业务成长8%，有消费类、工业与汽车三大应用，其中有50%以上是消费类应用，其余则为工业与汽车。

　　因为智能手机、移动网络、社群媒体等造就了MEMS的第一波浪潮，接下来则进入“工业4.0”及自动驾驶的时代，将带来MEMS下一波浪潮。

　　就三大应用而言，Simone Ferri最看好汽车MEMS传感器市场，预计汽车应用会有爆发性成长，例如ADAS、车钥匙、车用水平调整等，都是传感需求扩大的实例。

　　我国MEMS传感器走向何方?

　　目前，我国MEMS产业仍然处于起步阶段，在精度和敏感度等性能指标上与国外存在较大差距，应用范围也多局限于传统领域。中高档传感器产品几乎100%从国外进口，90%的芯片仍然依赖国外。

　　由于我国MEMS产业起步较晚，我国的MEMS传感器产品多处于技术相对成熟、市场格局相对稳定的传统MEMS应用领域，而新兴领域的MEMS产品在测量精度、温度特性、响应时间、稳定性、可靠性等方面与国外差距较大，尚未形成具有市场竞争力、较为完善的产品系列，产品结构略显单薄。

　　mems技术的发展满足了物联网发展对于更紧密、迷你传感器的需求。在未来的市场中，mems可编程晶振、mems传感器都将是市场的主流。