加速度测量是工程技术提出的重要课题。当物体具有很大的加速度时,物体及其所载的仪器设备和其他无相对加速度的物体均受到能产生同样大的加速度的力,即受到动载荷。欲知动载荷就要测出加速度。
由于感测加速度与角速度等物理量变化并非硅微机电系统(MEMS)的专利,石英组件供货商Epson Toyocom亦预定在2010年推出以石英为基础的加速度感应器,以分食庞大的加速度感应器市场大饼。
Epson Toyocom开发技术统括部暨商品企划战略部课长宫泽辉久指出,该公司的石英加速度传感器开发已接近完成阶段,预计在2010年进行量产。
拜任天堂(Nintendo)的Wii游戏机和苹果(Apple)iPhone热潮所赐,加速度、角速度等感测组件也成当红炸子鸡,让硅微机电系统(MEMS)快速窜红。不过,石英组件也已蓄积能量,不愿错失此一商机。EpsonToyocom开发技术统括部暨商品企划战略部课长宫泽辉久指出,石英音叉本身除可产生稳定的频率频率外,在设计上略经修改后,也可以扮演加速感应器的角色。其动作原理在于外界施加的力量会改变石英音叉的共振频率,因此只要检测石英共振频率的变化,就能得知该力量的强度。
目前Epson Toyocom已开发出石英加速度传感器的原型,除了石英音叉本体外,该组件还包含其它周边电路,系负责将频域讯号转换成模拟电压输出。该公司预计将在2010年量产以石英为基础的第一款加速度传感器。
事实上,石英晶体除了被用来产生频率讯号外,近年来也发展出许多不同的新应用,如角速度感测、压力感测等,均为石英组件已占有一席之地的领域。为持续扩大战果,Epson Toyocom的下一步计划便是进军规模更庞大的加速度感应器市场。
不过,石英加速度感应器并非无懈可击。例如与硅微机电系统加速度感应器相比,石英方案的尺寸无法像前者般持续微缩,难以实现三轴加速度感应功能。因此,宫泽认为,未来石英和硅感应器会自然而然地形成市场区隔,例如对高可靠度或侦测慢速移动的应用而言,石英方案会是比较理想的选择,因为石英传感器具备近乎免疫于温度变化的特性,且其噪声水平只有硅微机电的十分之一左右,因此特别适合用来侦测微小的加速度变化。
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